Senior Process Engineer - Lithography

Over deze vacatureTNO werkt op de High Tech Campus in Eindhoven aan een moderne pilotlijn voor fotonische chips op basis van indiumfosfide (InP). Deze pilotlijn maakt deel uit van het Europese PIXEurope-programma en is bedoeld om de stap van innovatief onderzoek naar industriële productie op grotere schaal mogelijk te maken. Het doel is om geavanceerde fotonische technologieën betrouwbaar, efficiënt en breed toepasbaar te maken.

Voor de verdere ontwikkeling van deze pilotlijn zoeken we een Senior Process Engineer Lithography. In deze functie ontwikkel, optimaliseer en industrialiseer je DUV-lithografieprocessen die belangrijk zijn voor de productie van fotonische chips op waferschaal. Met je kennis van lithografiesystemen, resistprocessen en patroonoverdracht zorg je ervoor dat nieuwe technologieën worden omgezet in stabiele en schaalbare productieprocessen met een hoge opbrengst.

Wat ga je doen?

Als Senior Process Engineer Lithography ben je verantwoordelijk voor het ontwikkelen, optimaliseren en industrialiseren van processen in een hoogwaardige cleanroomomgeving. Je richt je op DUV-lithografieprocessen voor 6-inch InP-wafers. Daarbij zorg je voor een goede beheersing van kritische afmetingen, overlay en de stabiliteit van het proces.

Je werkt nauw samen met collega's van R&D, Equipment en Quality Assurance (QA). Samen zorg je voor stabiele productieprocessen, verbeter je de productieopbrengst en begeleid je de introductie van nieuwe lithografietechnologieën in de pilotlijn.

Je belangrijkste werkzaamheden zijn:

Ontwikkelen, kwalificeren en optimaliseren van DUV- en i-line-lithografieprocessen voor de productie van 6-inch InP-wafers.

Opzetten en opschalen van nieuwe lithografieprocessen naar industriële productie, waarbij je zorgt voor stabiele en reproduceerbare resultaten.

Analyseren van procesgegevens, uitvoeren van oorzaakanalyses en toepassen van statistische methoden, zoals SPC, FMEA en DoE.Bewaken en verbeteren van de processtabiliteit, CD-uniformiteit, overlay en productieopbrengst binnen het lithografieproces.

Ondersteunen van operators en technici bij procesgerelateerde problemen, zodat de waferproductie goed kan doorgaan.

Onderzoeken en oplossen van processtoringen en invoeren van corrigerende en preventieve maatregelen.

Leiden van procesverbeteringsprojecten en ondersteunen bij de introductie van nieuwe lithografieapparatuur en technologieën.

Samenwerken met verschillende teams, waaronder R&D, Equipment en QA, en rapporteren over de voortgang aan het management.

Opstellen en onderhouden van procesdocumentatie, werkinstructies en richtlijnen voor een goede werkwijze.

Begeleiden en coachen van junior engineers, indien nodig optreden als clusterlead of vervangend clusterlead en Process Engineering vertegenwoordigen in multidisciplinaire overleggen.

Wat wij van jou verwachten

Je bent een ervaren process engineer met ruime ervaring binnen een industriële lithografieomgeving. Je hebt goede technische kennis en combineert deze met een analytische en praktische manier van werken. Daarnaast kun je verantwoordelijkheid nemen, projecten begeleiden en collega's inhoudelijk ondersteunen en coachen.

Je werkt graag in een cleanroomomgeving en vindt het interessant om bij te dragen aan de verdere ontwikkeling en productie van geïntegreerde fotonische technologie in Europa.

Daarnaast beschik je over:

Een PhD-, MSc- of BSc-diploma in natuurkunde, materiaalkunde, elektrotechniek, scheikunde of een vergelijkbare technische richting.

Minimaal 10 jaar ervaring met procesengineering binnen de halfgeleiderindustrie, bij voorkeur in een industriële waferfabriek.

Uitgebreide kennis van DUV-lithografiesystemen en
-processen.

Aantoonbare ervaring met het opzetten en industrialiseren van nieuwe lithografieprocessen.

Ruime ervaring met procesontwikkeling, procesoptimalisatie, het oplossen van procesproblemen en het verbeteren van de productieopbrengst.

Ervaring met statistische procesbeheersing en methoden voor proceskarakterisering, zoals SPC, FMEA en DoE.Aantoonbare ervaring met een leidinggevende of coördinerende rol, bijvoorbeeld als clusterlead of vervangend clusterlead.

Ervaring met het begeleiden en coachen van minder…